浙江精密工业烤箱

石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） 如有需要各种工业烤箱，欢迎致电合肥真萍科技咨询。浙江精密工业烤箱

下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

箱体结构：

1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，

N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料：采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。

4电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器

5风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；

完善的控制系统，及安全防护措施

1操作控制系统，采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制，更快速，更稳定。

2防护措施：紧急停止，超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等 芜湖高温工业烤箱欢迎致电合肥真萍科技咨询工业烤箱相关知识。

用途介绍：无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

1、技术指标与基本配置：

1.1使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；

1.2炉膛腔数:2个,上下布置；

1.3炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度

1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪；

2、氧含量（配氧分析仪）：

2.1高温状态氧含量：≤ 10ppm +气源氧含量;低温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量

2.2控温稳定度：±1℃； 2.3温度均匀度：±2%℃（260℃平台）；

高温钟罩炉设备规格及结构

炉膛结构 ：采用多晶莫来石材料砌筑而成

外形尺寸：W1300×H2200×D1510 (mm)

一、热工系统

1.1额定温度 ：1550℃

1.2限制温度 ：1600℃

1.3加热元件： U 型硅钼棒

1.4加热功率 ：16kW

1.5空炉保温功率 ≤8kW

1.6温区个数 ：1 个

1.7控温点数 ：1 点

1.8热偶 :B 分度

1.9程序**精度 ：±2℃（大于 600℃,升温速率≤3℃/min）

二、气氛系统

2.1炉膛气氛 ：2 路空气，流量计量程为 7～70L/min；每路流量可调节

2.2排气系统： 在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放

三、传动系统

3.1传动方式 ：升降式

3.2传动类型 ：电动推杆传动

3.3容积 ：20L  

四、冷却系统

4.1冷却结构 ：无

4.2产品降温 ：随炉降温

五、安全保护

5.1升、降、停按钮 ：载料台的升、降、停控制

5.2报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警

5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min

六、温度控制系统

6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量

6.2控制方式：高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制

6.3限温处理 ：

6.3.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警

6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警

6.4控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 工业烤箱定制生产，价格从优。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

柜体规格、配备：

1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖，方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。 合肥真萍科技****，真诚推荐选择。杭州大工业烤箱

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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的过滤系统：

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计，风压平均，可有效提供风量，降低噪音。

2.4 电路板控制模块，提供安 全保护装置，运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA，0.12μm，99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力格：单相220V 50Hz 0.95A，输出功率150W。

洁净节能氮气柜的柜体规格、配备：

1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖，方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。 浙江精密工业烤箱