宿迁气氛炉标准

时间:2020年12月05日 来源:

本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱,首先简单介绍一下HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。   增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。合肥真萍科技气氛炉价格更优惠。宿迁气氛炉标准

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下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。 1.HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。 2.低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能) 3.温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报) 4.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)泉州气氛炉参考价格合肥真萍科技简述气氛炉规范标准。

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下面为大家介绍一下高温钟罩炉的各项系统。 一、气氛系统。 1.炉膛气氛:2路空气,流量计量程为 7~70L/min,每路流量可调节; 2.排气系统:在炉膛顶部设置一个排气囱,用于废气排放。 二、传动系统 1.传动方式 :升降式 2.传动类型 :电动推杆传动 3.容积 :20L 三、冷却系统 1.冷却结构 :无 2.产品降温 :随炉降温 四、安全保护 1.升、降、停按钮 :载料台的升、降、停控制 2.报警指示:超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警 3.设备安全升温速率 ≤5℃/min 五、温度控制系统 1.温度测量:采用 B 分度热偶测量 2.控制方式:高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制 2.1当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警 2.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时,报警 3.控制仪表:采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能

超高真空烘箱广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验。下面为大家介绍一下超高真空烘箱的降温速率。 1.升温时间:①常压时:90min(常温~ +260℃) ②低气压0.0001pa时:180min(常温~ +260℃) 2.降温时间:3℃~10℃/min(260℃~ 120℃), 1℃~5℃/min(120℃~ 常温℃) 3.降温方式:水冷降温 4.试验箱承压方式:采用内承压方式 5.压力范围:常压~0.0001Pa为您推荐气氛炉的专业生产厂家。

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隧道炉适用于五金模具、航天航空、纳米材料、精密陶瓷、粉末治金、铁氟龙喷涂、五金、锂电池、化工、运动器材、汽车零配件、电机、化工、工业之烘烤、干燥、预热回火、退火、老化等用途。下面为大家介绍一下真萍科技隧道炉的产品特性。 1.采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能精确控制温度之精细度; 2.分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果); 3.内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好); 4.整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,有效防止失误动作; 5.当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。合肥真萍科技的气氛炉,值得推荐。芜湖生产气氛炉

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