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下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。 1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm; 2.载物托架：2块 3.室温+10℃-250℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa， 5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态） 6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。 7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）。合肥真萍科技网带炉诚信经营。烘干网带炉非标定制

本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱，首先简单介绍一下HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。   增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。杭州固化网带炉合肥真萍科技的优势有哪些呢？听听小编为您介绍。

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。 1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2.箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3.微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。 4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。 5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。

超高真空烘箱广泛应用于航空、航天、电子、通讯等科研及生产单位。确定仪器仪表、电工产品、材料、零部件、设备等在低气压、高温单项或同时作用下的环境适应性与可靠性试验。下面为大家介绍一下超高真空烘箱的主要技术指标。 1.工作室温度范围：常温～ +300℃ 用户使用温度260℃ 2.温度波动度：±1.0℃（空载）； 3.温度偏差：常压温度试验：常温～200℃时±2℃ 200～300℃时±5.0℃ 低气压高温综合试验:≤100℃时±2.0℃， 100℃～200℃时±5.0℃ 200℃～300℃时±7.0℃合肥真萍科技网带炉值得推荐。

中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理，下面为大家介绍一下中温气氛箱式炉的系统配置。 一、热工系统 1.额定温度 800℃ 2.较高温度 850℃ 3.加热元件 陶瓷外丝加热管 4.加热功率 18kw 5.空炉保温功率 约 9kw 6.温区个数 1 个 7.控温点数 2 点 8.热偶 K 分度 9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台) 10.炉膛温度均匀度 ±6℃（恒温 800℃,1h） 二、气氛系统 1.炉膛气氛 2 路氮气，流量计量程为 2～20L/min；每路流量可调节 2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放，废气 3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染 4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量： 5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量 6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量为您推荐网带炉的专业生产厂家。温州烘干网带炉批发

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下面为大家介绍一下石墨盘**真空烤盘炉的技术指标。 1.使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃； 2.绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸； 3.加热元件：石墨加热棒； 4.冷却方式：气冷 + 循环风冷降温； 5.控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能； 6.炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）； 7.气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%； 8.极限真空: 10-3torr级； 9.抽气速率：空载下，30min达到10-2torr 10.升温功率：170kW； 11.升温速率：15℃/min（空载）； 12.降温速率：1450℃至80℃,240分钟 13.腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）烘干网带炉非标定制

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